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无锡瑞蒙特实验设备有限公司（一） 工程验收方案
工程施工结束，经自检符合要求后由我方向总包方提出验收时间、总包向业主监理方报验，由业主方批准，届时给予验收。
（二） 工程验收方法和指针
2.1 等级标准
a 洁净度等级标准:美国联邦标准(FS-209E)
等级名称 |
等 级 限 值 |
||||
0.1μm(ft3) |
0.2μm(ft3) |
0.3μm(ft3) |
0.5μm(ft3) |
5μm(ft3) |
|
1 |
35 |
7.5 |
3 |
1 |
- |
10 |
350 |
75 |
30 |
10 |
- |
100 |
- |
750 |
300 |
100 |
- |
1000 |
- |
- |
- |
1000 |
7 |
10000 |
- |
- |
- |
10000 |
70 |
100000 |
- |
- |
- |
100000 |
700 |
注:
a.表中数字为各级标准中所允许的粒子数上限值 (颗粒数/ ft3)
b.洁净室温湿度标准:
以洁净室内生产工艺（甲方）要求为测试标准
c.洁净室噪声标准：
静态状态: 室内噪声级≤65d B (A)
本底噪声干扰扣除量参照下表:
相差量( dB ) |
6 ~ 9 |
4 ~ 5 |
3 |
扣除量( dB ) |
1 |
2 |
3 |
注：
由于技术经济条件限制，或噪声大于70dB（A）对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75dB（A）。
d.洁净室照度标准:
以《洁净室施工验收规范》为标准，照度要求：300Lx。
注：以测试结果的平均值来衡量。
e.洁净室正压标准：
洁净区与非洁净区大于等于10Pa，其它房间大于等于5Pa
2.2 测试环境
a. 净化空调单机设备和系统调试完成并至少运行24小时后;
b. 洁净室及净化空调系统已全面彻底清扫, 并于清扫后由身着洁净服的人员擦拭表面完成;
c. 测试及调整应在空态或静态下进行；
d. 测试人员不应多于3人。
2.3 测点分布
a. 测点间距0.5-2.0m；
b. 层流洁净室测点总数不应少于20点；
c. 水平层流洁净室测点仅分布在**洁净工作区。
d. 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作区的高度
（离地点0.8m）。每个采样点的最小时间为1min，采样量至少为2L。
e. 当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。
f. 测点位置: 距墙1.0m, 高度0.8 ~ 1.5m工作区域
g. **限度采样点数（NL）:
NL=A0.5
式中 NL――最少采样点
A――洁净室或被控洁净区的面积（M2）
2.4 测量仪器：
a. 洁净度测量仪器规范要求: 光散射激光粒子计数器
使用仪器：美国MetOne 227A型掌上型激光粒子计数器
仪器性能： 流量: 0.1 ft3/min
灵敏度: 0.5μm
采样粒径: 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm, 3.0μm,5.0μm
测量方式: 粒子浓度或单位时间内粒子数
b. 温湿度测量仪器规范要求: 温湿度测试仪
使用仪器: TES 1360 温湿度测试仪
仪器性能: 精度: 0.1℃ 0.1％RH
测量范围: -20℃～60℃
10％～95％RH
c. 噪声测量仪器规范要求: 声级计，频率分析仪，或自动记录仪
使用仪器: 台湾LUTRON SL-4001 声级计
仪器性能: 精度: 0.1 d B
测量范围: 30 ~ 130 d B（A声级或C声级）
d. 照度测量仪器规范要求: 照度测试仪
使用仪器: ILLUMINOMETER MODEL 5200照度测试仪
仪器性能: 精度: 1 Lx
测量范围: 0 ~ 1000 Lx
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